真空泵在真空系统中承担核心抽吸功能，不同类型的真空泵分工明确，共同满足系统真空度与抽速要求。

主泵的作用

       主泵直接对真空系统的真空容器进行抽气，核心是获取工艺所需的真空度，同时匹配系统对抽速的要求，减少容器内的废气残留。

增压泵的作用

       增压泵工作在低真空与高真空之间的中间压力范围，核心功能是提升系统的抽气效率，为后续高真空阶段的实现创造条件。

超高真空泵的作用

超高真空泵的工作范围集中在超高真空区间，专门用于满足对真空度要求极高的特殊工艺需求，是实现超高真空环境的关键设备。

前级泵与粗 / 低真空泵的作用

       粗 / 低真空泵从大气压力开始抽气，逐步将容器压力降至低真空或粗真空范围，为其他真空泵（如主泵、超高真空泵）提供启动条件。

前级泵的核心作用是维持另一台泵（如主泵、增压泵）的入口压力在其最大允许水平内，保障后续泵的正常运行。

辅助泵与维护泵的作用

       辅助泵用于配合主泵工作，要么维持主泵正常运行所需的真空环境，要么补充主泵的抽速，缩短容器达到目标真空度的时间。

维护泵针对系统中残留的少量气体，这类气体无法通过主泵或前级泵高效抽吸，维护泵可精准处理以保障系统真空稳定性。

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